L’unité de pulvérisation développée et fabriquée par Northglass inclut la cathode plane / rotative, le bloc terminal et la barre magnétique. Nous offrons aussi la personnalisation de conception et de fabrication de ces composants pour toutes les nouvelles machines de dépôt sous vide.

Northglass fournit la cathode rotative simple, cathode rotative double, cathode plane simple et cathode plane double. Chaque composant cathode contient une base de cathode, couvercle, distributeur de gaz de traitement, connecteur d’électricité et d’eau, unité de mesure sous vide, système de contrôle, etc.

Northglass fournit trois types de blocs terminaux, à savoir EB-CAC, EB-CB et EB-CS afin de répondre à toutes les exigences des clients de différents domaines.
La maintenance des blocs terminaux peut être effectuée par des employés formés par eux même grâce au guide d’utilisation. Un programme de formation peut être effectué sur le site de l’utilisateur, aboutissant à une économie considérable de temps et de coûts.

1. Série EB-CAC
Chaque paire de blocs terminaux est composée d’extrémité motrice et d’extrémité électrique / eau. L’extrémité motrice est destinée à la rotation cible et l’autre est destinée à la connexion eau/électricité.
Cette série peut être utilisée dans presque toutes les cathodes des machines de dépôts symétriques.

2. Série EB-CB
Chaque paire de blocs terminaux est composée d’une extrémité fonctionnelle et d’une extrémité de support. L’extrémité fonctionnelle est destinée à la rotation cible est destinée à la rotation cible et à la connexion eau/électricité, et l’autre sert comme support.
Cette série peut être utilisée dans les machines de dépôts asymétriques.

3. Série EB-CS
Chaque paire de blocs terminaux est composée d’une extrémité fonctionnelle et d’une extrémité de support. L’extrémité fonctionnelle est destinée à la rotation cible est destinée à la rotation cible et à la connexion eau/électricité, et l’autre sert comme support.
Cette série peut être utilisée dans les machines de dépôts asymétriques.
La distance cible-substrat peut être facilement ajustée grâce à la méthode de montage à l’envers.

• L’aluminium extrudé supportant le tube permet à l’aimant et ses empiècements de s’isoler de l’eau de refroidissement afin d’éviter un changement de champ magnétique dû au trempage longue période dans l’eau. Cela permet d’améliorer de façon apparente la rigidité de la barre magnétique et réduire la fluctuation du champ magnétique due à la friction entre l’aimant en acier torsadé et le tube cible.
• L’uniformité du champ magnétique peut être contrôlée de façon précise à l’aide d’une nouvelle structure d’ajustement du filetage de vis.
• L’eau de refroidissement est directement éjectée de l’emplacement çà haute température du tube cible, ce qui supprime de façon efficace la chaleur.
• Installation et maintenance facile et pratique.